Diffuziq primesej w poluprowodnikah
Kriworuchko, Artöm / Alexandrow, Oleg
V sowremennom poluprowodnikowom proizwodstwe tehnologicheskie processy harakterizuütsq malymi dlinami i korotkimi wremenami, chto zachastuü priwodit k wozniknoweniü nerawnowesnyh uslowij, takih kak narushenie lokal'noj älektronejtral'nosti (JeN), otklonenie ot rawnowesiq w kwazihimicheskih reakciqh mezhdu primesqmi, defektami i ih komplexami, obrazowanie nerawnowesnyh koncentracij sobstwennyh tochechnyh defektow (STD), kontroliruüschih diffuzi...