Design und Realisierung GaN-HEMT basierter THz-Detektoren
Rämer, Adam![Design und Realisierung GaN-HEMT basierter THz-Detektoren](https://support.digitalhusky.com/media/annotations/sorted/449/44981510/CHSBZCOP0344981510.jpg)
In dieser Arbeit wird gezeigt, wie State-of-the-Art THz-Detektoren mittels eines niederfrequenten Standard MMIC Prozesses zu realisieren sind. Für den zugrundeliegenden Detektionsmechanismus wird die theoretische Grundlage hergeleitet und herausgearbeitet, wie die einzelnen Elemente des Detektors interagieren. Die THz-Detektoren sind in einem GaN-on-SiC-HEMT-MMIC-Prozess realisiert. Dabei werden Bow-Tie-Antennen, logarithmische Spiralantennen ...